آنالیز کارآیی (Performance Monitoring) یکی از تکنیکهای CM است که برای انواع مختلف ماشین آلات و به ویژه تجهيزاتي که در واحدهای فرآیندی به کار می روند، کاربرد دارد.

جمع آوری اطلاعات اولیه (مانند دبی، دما، فشار و ...) به کمک انواع گیج ها، نشانگرها، سنسورها و ترانسمیترها صورت می پذیرد. برخی از این وسایل اندازه گیری دارای نشان دهنده در محل هستند و اطلاعات برخی دیگر از طریق سیستم کنترل مرکزی قابل دستیابی است.

پارامترهای بیان کننده کارآیی ماشین (نظیر راندمان، هد تولیدی و . . .) به کمک فرمولها و روابط ریاضی و بر اساس اطلاعات اولیه محاسبه می شوند.

با trend کردن مقادیر پارامترهای بیان کننده کارآیی ماشین در طول عمر آن، هرگونه انحراف از وضعیت نرمال مشخص شده و می توان با انجام اقدام اصلاحی، وضعیت را نرمال نمود.

این تکنیک به ویژه برای توربینها، پمپها، فنها، مبدلهای حرارتی، بویلرها و . . . از اهمیت خاصی برخوردار است.